产品描述：大气压至超高真空真空计
型号：MPG400MPG401
常用货号（P/N）：351-010 351-011 351-012 351-020 351-021 351-022
品牌：inficon
产地：瑞士
NFICON 倒置磁控管皮拉尼MPG400 和 MPG401型真空计测量，范围范围从 5 x
10-9 毫巴至大气压（3.8 x 10-9 托至大气压）。
将多项技术融合到到一个带有对数模拟输出信号的单个紧凑数装置中，极大降低了安装、设置和集成的复杂性。
益处
复合真空计 – 倒置磁控管与皮拉尼
测量范围广，从 5 x 10-9 毫巴到大气压
不会出现单丝烧毁的现象
卓越的点火属性
易于清洁
FPM 或金属密封馈入装置
高压 LED 指示灯
对数模拟输出信号
典型应用
高真空压力监控
蒸发系统和溅射系统的基本压力
中高真空范围内的一般真空测量和控制
规格
| 类型 | MPG400 FPM sealed | MPG401 metal-sealed |
|---|
| 测量范围（空气，N2） | mbarTorr | 5 x 10-9 … 1000 | 5 x 10-9 … 1000 |
| 精度 (N2) |
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| 1 x 10-8 … 100 毫巴 | % of reading | ≈±30% | ≈±30% |
| 可重复性 |
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| 1 x 10-8 … 100 毫巴 | % of reading | ≈±5% | ≈±5% |
| 安装定位 |
| any | any |
| 容许压力 | bar (absolute) | ≤10 (limited to inert gases) | ≤10 (limited to inert gases) |
| 容许温度 |
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| 运行（环境） | °C | +5 … +55 | +5 … +55 |
| 贮存 | °C | –40 … +65 | –40 … +65 |
| 烘烤 (1) | °C | 150 | 150 |
| 单丝温度（皮拉尼） | °C | 120 | 120 |
| 电源电压 |
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| 真空计上 | V (dc) | +15 … +30 | +15 … +30 |
| 缆线最长的电源装置 (2) | V (dc) | +16 … +30 | +16 … +30 |
| 波纹 | V (p-p) | ≤1 | ≤1 |
| 功耗 | W | ≤2 | ≤2 |
| 可连接的保险丝 | AT | ≤1 | ≤1 |
| 输出信号（测量信号） |
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| 电压范围 | V | 0 … +10.5 | 0 … +10.5 |
| 测量范围 | V | +1.82 … +8.6 | +1.82 … +8.6 |
| 电压与压强 |
| logarithmic, 0.6 volts per decade | logarithmic, 0.6 volts per decade |
| 错误信号 |
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| 无电源 | V | <0.5 | <0.5 |
| 皮拉尼传感器，单丝断裂 | V | >9.5 | >9.5 |
| 输出电阻 | Ω | 2 x 10 | 2 x 10 |
| 最小负载电阻 | kΩ | 10, short-circuit proof | 10, short-circuit proof |
| 反应时间 |
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| p > 10-6 毫巴 | ms | <10 | <10 |
| p = 10-8 毫巴 | ms | ≈1000 | ≈1000 |
| 识别真空计 |
| 85, referenced to supply common | 85, referenced to supply common |
| 状态 |
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| 仅皮拉尼模式 | V | 0 (low) | 0 (low) |
| 复合皮拉尼 / 冷阴极模式 | V | 15 … 30 (high) | 15 … 30 (high) |
| LED | LED green | high voltage on | high voltage on |
| 电气连接 |
| FCC 68 appliance connector, 8 poles, female | FCC 68 appliance connector, 8 poles, female |
| 传感器电缆 |
| 8 poles plus shielding | 8 poles plus shielding |
| 电缆长度 | m | ≤50 (8 x 0.14 mm2) | ≤50 (8 x 0.14 mm2) |
| 运行电压 | kV | ≤3.3 | ≤3.3 |
| 运行电流 | µA | ≤500 | ≤500 |
| 暴露于真空的材料 |
| stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W | stainless steel, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W |
| 内部容积 | cm³ | ≈20 | ≈20 |
| 重量 |
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| DN 25 ISO-KF | g | ≈700 | ≈730 |
| DN 40 ISO-KF | g | ≈720 | ≈750 |
| DN 40 CF-F | g | ≈980 | ≈1010 |
| 保护类别 |
| IP 40 | IP 40 |
| 标准 |
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| CE 合规 |
| EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1 | EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1 |
1) 没有电子和磁遮蔽。
2) 必须根据传感器电缆的长度按比例增加电源的最低电压。
零件号
| MPG400 FPM sealed |
|---|
| 零件号 | 明细 |
|---|
| 351-010 | MPG400 真空计 |
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| 351-011 | MPG400 DN 40 ISO-KF |
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| 351-012 | MPG400 DN 40 CF-F |
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| MPG401 metal-sealed |
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| 零件号 | 明细 |
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| 351-020 | MPG401 DN 25 ISO-KF |
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| 351-021 | MPG401 DN 40 ISO-KF |
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| 351-022 | MPG401 DN 40 CF-F |
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| 351-023 | 磁屏蔽
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