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红外镀膜常用的材料有哪些?

2025-10-27 15:21来源:蒂姆新材料作者:蒂姆新材料网址:http://www.dmmaterial.com
文章附图

红外镀膜是一个非常重要且专业的技术领域,主要应用于军事、航天、工业、医疗和安防等高端场景。红外镀膜材料的选择取决于目标应用的红外波段以及所需的光学性能(如增透、高反射、滤波等)。

通常,红外波段被划分为:

  • 近红外:0.78 - 1 μm

  • 短波红外:1 - 3 μm

  • 中波红外:3 - 5 μm

  • 长波红外:8 - 14 μm

以下是红外镀膜中常用的材料分类及其典型应用:

氧化铝丨Al2O3.png

一、红外透射材料(用作基板或膜层)

这些材料本身对红外光有良好的透过性,常被用作红外光学元件的基板(如透镜、窗口),也常作为镀膜中的低折射率材料。

材料名称化学式/缩写主要特点与应用波段
硫化锌ZnS多光谱ZnS:从可见光到长波红外的宽波段透射。化学气相沉积ZnS:主要用于长波红外,强度高,是制作红外窗口和整流罩的关键材料。
硒化锌ZnSe中远红外最重要的材料之一。在2-15 μm波段透光率极高,吸收低。常用于高功率CO₂激光镜片、热成像系统透镜。
Ge最常用的长波红外材料。折射率高,但温度升高时吸收会增加,需镀增透膜。广泛用于热像仪透镜。通常需要制冷或使用温度范围受限。
Si主要用于1.2-7 μm的中波红外。折射率高,硬度高,成本相对较低。常用于3-5 μm波段的窗口和透镜。
氟化钡BaF₂透射波段很宽(0.15-12 μm),但质地软,易潮解。用于需要宽波段透射的场合。
氟化钙CaF₂从紫外到中红外(0.13-10 μm)都有良好透射,性能稳定,是优秀的透镜和窗口材料。
蓝宝石Al₂O₃极其坚硬、耐磨、耐腐蚀。从紫外到中红外(约0.15-5 μm)透光性好,常用于恶劣环境下的窗口。
镁氟化物MgF₂从真空紫外到中红外都有良好透射,硬度高,耐腐蚀。常用作增透膜中的低折射率材料。
氧化钇Y₂O₃耐高温、耐腐蚀,在中红外波段有良好透射,常用于高温和恶劣环境下的窗口和膜层材料。
AMTIR-1Ge-As-Se玻璃一种硫系玻璃,在中长波红外(1-12 μm)有良好透射,可用于制造非球面透镜,是锗的良好替代品。
砷化镓GaAs硬度高,化学稳定性好,透射波段为1-15 μm,常用于高功率激光器和高速电子器件。

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二、红外高反射/功能膜层材料

这些材料用于制作反射镜、分光镜、滤光片和金属电极等。

材料名称化学式/缩写主要特点与应用
Au长波红外反射率之王。在波长大于700 nm后,反射率极高(>98%),且化学性质稳定。是长波红外反射镜、黑体空腔、MEMS器件的首选。
Ag从可见光到红外波段反射率最高。但在大气中易硫化发黑,耐久性差,必须加保护膜。常用于需要宽波段高反射的场合。
Al在紫外到红外都有良好的反射率,成本低。但在红外波段的反射率不如金和银,也需保护膜防止氧化。
Cu在红外波段有较好的反射率,但易氧化,通常作为备选。
Cr附着力极强,常用作衬底材料,以增强后续膜层与基板的结合力。
一氧化硅SiO常用于红外区域的保护膜胶合层,具有一定的吸收性。
二氧化硅SiO₂最常用的低折射率材料。硬度高,吸收低,化学性质稳定。用于增透膜和反射膜堆栈中的间隔层。
二氧化钛/五氧化三钛TiO₂ / Ti₃O₅常用的高折射率材料。在可见光和近红外区域透明且折射率高,用于构建干涉膜堆。
二氧化铪/五氧化二铪HfO₂ / Hf₃O₅优秀的高折射率材料。从紫外到红外都很稳定,吸收低,常用于高性能红外激光膜和高耐久性膜系。
二氧化锆ZrO₂高折射率,耐磨损,化学稳定性好,是常用的高折射率材料之一。
硫化铅PbS对中远红外有敏感性,可用于制作红外探测器。
锑化铟InSb重要的中波红外探测器材料。

三、红外镀膜的主要类型与应用

  1. 红外增透膜

    • 目的:减少红外光学元件表面反射损失,增加透射率。

    • 材料组合:通常采用“高折射率-低折射率”的膜堆结构。

      • 基板为Ge:常用 Y₂O₃ / ZnSTiO₂ / MgF₂ 等组合。

      • 基板为Si:常用 ZnS / MgF₂ 等组合。

      • 基板为ZnSe:常用 ThF₄ / ZnS(ThF₄因有放射性已少用),现多用 YF₃ / ZnS 等环保组合。

  2. 红外高反射膜

    • 目的:制作反射镜。

    • 实现方式

      • 金属反射膜:直接蒸镀,并在表面加镀保护膜(如SiO₂)。

      • 介质全反射膜:利用λ/4光学厚度的SiO₂(低折射率)和Ge/HfO₂(高折射率)交替叠层,形成对特定波长近乎100%反射的膜系。性能优于金属膜,但制造成本高,角度敏感性高。

  3. 红外滤光片

    • 带通滤光片:只允许特定窄波段红外光通过。例如,用于气体检测(CO₂吸收峰在4.26μm)或热像仪(3-5μm和8-14μm)。常用Ge、ZnSe作为基底,沉积复杂的干涉膜系。

    • 截止滤光片

      • 长波通:截止可见光,透过红外光。常用于夜视、安防摄像头。

      • 短波通:截止红外光,透过可见光。常用于防止红外线干扰的相机传感器前。

  4. 分光镜

    • 目的:将入射光按一定比例分成透射和反射两束。

    • 材料:通过在基板上沉积特定厚度的金属(如Cr)或介质膜系实现。

      氧化物颗粒.png

      氧化物圆片颗粒.png

总结

选择红外镀膜材料时,需要综合考虑以下因素:

  • 工作波段:不同材料有其最佳的透射或反射波段。

  • 光学性能:折射率、消光系数(吸收)。

  • 机械与化学性能:硬度、附着力、耐腐蚀性、环境稳定性。

  • 应用环境:是否处于高温、高湿、强辐射或机械磨损严重的环境。

  • 成本:材料本身成本和加工成本。

因此,红外镀膜是一个高度定制化的领域,需要根据具体的应用需求来设计和选择最合适的材料和膜系结构。

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