三氧化钼(MoO₃)用电子束蒸镀(EBE)有几个特有的坑,主要是热分解和失氧。下面是具体的工艺控制要点和均匀性优化方案: 一、MoO₃ EBE 的核心难点 1. 热分解倾向 MoO₃在加热时不是简单熔化蒸发,而是会逐步失氧:MoO₃ → MoO₂ + ½O₂(~700°C开始明显)MoO₂ → MoO + O₂(更高温度)如果束流太猛或扫描太集中,坩埚里的MoO₃会变成深蓝色的MoO₂甚至金...
钼(Mo)坩埚是蒸镀工艺中最常用的金属坩埚之一,但它的使用有明确的边界——钼会与某些活泼金属反应形成合金。钼坩埚适用的蒸镀材料1. 兼容性良好的膜料膜料熔点(℃)说明金(Au)1064化学惰性,不反应,蒸镀稳定银(Ag)962蒸镀性能良好,膜层纯净铜(Cu)1085常用组合,坩埚寿命长镍(Ni)1455高温稳定,无反应铬(Cr)1907适合装饰镀和硬质膜钛(Ti)1668结合层、装饰镀常用硅...