一、合金靶材的常用种类及应用领域以下表格列出了主流的合金靶材种类、常见示例及其主要应用领域。靶材种类具体示例主要应用领域铝基合金靶材Al-Si、Al-Cu, Al-Ti, Al-Sc, Al-Nd微电子:半导体集成电路的互连线、电极。平板显示:TFT-LCD中的栅极和电极。汽车/航空航天:轻量化、耐磨部件表面涂层。铜基合金靶材Cu-Mn, Cu-Ni, Cu-Ti, Cu-Al, 黄铜(Cu...
磁控溅射镀膜设备在使用过程中需要注意多个方面,以确保镀膜过程的安全、高效以及镀膜质量的稳定。以下是一些关键的使用注意事项:一、设备准备与检查1.电源与设备检查:在使用前,需确认电源连接正常,并检查真空泵、冷却循环水系统等关键设备是否处于良好工作状态。这是保证镀膜过程顺利进行的基础。2.真空室清理:确保真空室内干净无杂物,特别是避免有对镀膜有害的粉尘或颗粒存在。这有助于减少镀膜过程中的污染,提...