一、射频溅射相关文献：
1. 1 PET基片上射频磁控溅射不同厚度ITO薄膜的光电学特性
1.2 射频磁控溅射室温下制备ITO薄膜的光学性能研究
1.3制备工艺对ITO薄膜的电阻率及沉积速率的影响
二、直流溅射相关文献：
2.1 直流磁控溅射功率对ITO薄膜光电学性能的影响
三、直流和射频溅射对比相关文献：
3.1直流磁控溅射工艺对ITO 薄膜光电性能的影响
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