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磁控溅射制备二氧化钒薄膜的参考文献汇总磁控溅射制备二氧化钒薄膜的参考文献汇总 磁控溅射制备VO2薄膜可以采用两种方式：采用溅射二氧化钒VO2靶材，采用溅射金属钒V靶材两种方式。 两种方式溅射的工艺参数也有所不同，具体可以参考如下摘抄的文献: 一、采用溅射VO2靶材，直接制备VO2薄膜文献汇总 1.1 磁控溅射法制备二氧化钒薄膜及其性能表征 文献链接：https://wenku.baidu.com/view/93dc600f3c1ec5da51e2702a.html ; 1.2 磁控溅射氧化钒薄膜的相组成及性能 文献链接：https://wenku.baidu.com/view/e23e05ebf8c75fbfc77db22d.html 1.3 磁控溅射制备A相二氧化钒薄膜的方法与流程 文献链接：http://www.xjishu.com/zhuanli/24/201610744315.html 1.4 氧化钒薄膜的制备及其热致变色特性研究 文献链接：https://xueshu.baidu.com/usercenter/paper/show?paperid=aaab421212af99f36edcc21d81ab6a5d&site=xueshu_se 二、采用溅射金属V靶材，直接制备VO2薄膜文献汇总 2.1射频磁控溅射制备氧化钒薄膜的研究 文献链接：https://wenku.baidu.com/view/ffe668cb04a1b0717fd5dd3a.html 2.2一种磁控溅射制备氧化钒膜的方法 文献链接：http://cprs.patentstar.com.cn/Search/Detail?ANE=9EGD6DDA9HGF9EEC9GHF9FIE9DEC9HAG9EGH9FHE9CAA9EHE 蒂姆（北京）新材料科技有限公司 主营产品：钒靶材、二氧化钒靶材、五氧化二钒粉末、钒颗粒、钒棒、锰靶材、镍靶材、钴靶材 官网：www.dmmaterial.com 电话：010-56073481 邮箱：info@dmmaterial.cn QQ：2031869415 下一篇： 国产镀膜设备到底还差多远
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