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溅射气压对磁控溅射成膜性能的影响郑建潮   浙江大学信电系在直流磁控溅射过程中, 溅射气压( 工作气压)是一个很重要的参数, 它对溅射速率, 沉积速率以及薄膜的质量都有很大的影响。气体分子从一次碰撞到相邻的下一次碰撞所通过的距离的统计平均值, 称之为平均自由程。从分子的平均自由程的角度来说, 溅射气体压力低时溅射粒子的平均自由程大, 与气体离子的碰撞的几率小, 使沉积速率增大。但是, 溅射气...

可以用来制备ITO薄膜的成膜技术很多,如磁控溅射沉积 、真空蒸发沉积和溶胶- 凝胶( Sol -Gel)法等。1 磁控溅射沉积磁控溅射沉积可分为直流磁控溅射沉积和射频磁控溅射沉积。直流磁控溅射是目前应用较广的镀膜方法,一般使用导电铟锡合金靶,溅射室抽真空后除了要通入惰性气体Ar ,还要通入反应气体O2 。溅射的基本过程:靶材是需要溅射的材料作为阴极,作为阳极的衬底加有数千伏的电压。在对系统预...

【编者按】壮大战略性新兴产业是经济高质量发展的动力引擎。站在2023年的新起点,澎湃园区恳谈会推出新春特辑“浪尖2023”,五问经济学家、产业专家、企业高管、投资人,寻求元宇宙、芯片、光刻机、氢能、自动驾驶、机器人、脑机接口、创新药等产业的突破点。 傅小凡 制图澎湃新闻:您认为2022年中国芯片产业最热的关键词有哪些?傅志伟:我觉得有这样几个关键词,应该也是行业里的普遍共识,第一个是“直面打...

【编者按】壮大战略性新兴产业是经济高质量发展的动力引擎。站在2023年的新起点,澎湃园区恳谈会推出新春特辑“浪尖2023”,五问经济学家、产业专家、企业高管、投资人,寻求元宇宙、芯片、光刻机、氢能、自动驾驶、机器人、脑机接口、创新药等产业的突破点。 傅小凡 制图澎湃新闻:您认为2022年中国芯片行业中最热的关键词有哪些?景昕:对于我们这个行业来讲,我第一个想到的关键词是“对外合作”。疫情三年...

2022年已经过去,回看过去的一年,芯片行业的发展并不平静!一边是美国公布《芯片法案》,台积电赴美建厂,另一边也传来消息,中国正在为国内的半导体行业制定超过1万亿人民币的支持计划;一边是各大媒体纷纷报道华为麒麟芯片库存殆尽;另一边华为要造光刻机的消息声势浩大,还有蔚来组建300人团队自研芯片等消息层出不穷。在铺天盖地的网络消息之下,“国家会不会放弃芯片的发展?”“芯片行业寒冬来了吗” “中国...

癸卯兔年已拉开序幕。对于自主汽车芯片行业来讲,新的一年将迎来智能化竞争的“赛点”。如今,随着整车电子电气架构的集中化,汽车芯片功能越来越复杂,分类也越来越细化,不同功能、不同种类的产品开始呈现多样发展态势。再加上碳化硅等新材料及新技术的推广,相信2023年自主汽车芯片产业将精彩纷呈。1摩尔定律或将延续 芯片良率有待提高作为底层基石,芯片的先进性在一定程度上决定了汽车的智能化程度。在汽车电动化...

转自:前瞻产业研究院行业主要上市公司:宏微科技(93.410, -3.49, -3.60%)(688711);斯达半导(327.950, 3.98, 1.23%)(603290);华润微(56.620, 0.40, 0.71%)(688396);时代电气(56.820, 0.03, 0.05%)(688187);士兰微(36.390, 0.41, 1.14%)(600460);比亚迪(302...

1、氧化铝基本性能参数2、镀氧化铝膜的特点3、镀氧化铝膜的方法 镀氧化铝膜的方法主要分为物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD),其中物理气相沉积主要有蒸镀法和磁控溅射法,蒸镀法根据加热方式不同分为电阻加热、高频感应加热和电子束加热三种,其中电阻加热的温度可达1600℃,而电子束和高频感应加热可达3000℃。磁控溅射法相比于蒸镀法,其膜层与基材结合力强、膜层致密性及均匀性好。化学气相沉...

锗的应用简介锗是重要的半导体材料,在半导体、航空航天测控、核物理探测、光纤通讯、红外光学、太阳能电池、化学催化剂、生物医学等领域都有广泛而重要的应用。根据美国地质调查局数据显示(2015)全球锗终端用户所占比例如下:纤维光纤30%;红外光纤20%;聚合催化剂20%;电子和太阳能器件15%和其他(荧光粉、冶金、和化疗)15%。光纤掺锗光纤具有容量大、光损小、色散低、传输距离长及不受环境干扰等优...

真空设备检漏注意事项一、真空设备设计中的注意事项1、根据设备的工艺要求,确定真空设备的总的最大允许漏率,并依据这一总漏率确定各组成部件的最大允许漏率。  2、根据设备的最大允许漏率等指标,在设计阶段就初步确定将要采用的检漏方法,并将其作为指导调试验收的基本原则之一。  3、根据设备或部件的最大允许漏率指标,决定设备的密封、连接方式和总体加工精度,以及何种动密封形式能够满足要求。如,法兰采用金...

真空镀铝膜性能指标及厚度测量方法一、镀铝膜厚度测量方法镀铝膜厚度测量一般采用下述三种方法。第一种是光密度法,以光线透过镀铝膜的密度来衡量。用光密度计量镀铝层厚度的优点是方便、准确,测量结果不易受表面氧化层的影响。光密度值与入射光波长有关。第二种是采用表面方块电阻测量。此法简单实用,一般铝层厚度对应的表面电阻一般在1~2。取样或宽1cm长,10cm的电阻值在1~20之间。镀膜刚下卷时,铝层表面...

铂又称白金,价格比黄金贵,由于它有许多优良的性质,尽管出现了各种代用品,但许多分析工作仍然离不开铂。铂的熔点高达1774℃,化学性质稳定,在空气中灼烧后不起化学变化,也不吸收水分,大多数化学试剂对它无侵蚀作用,耐氢氟酸性能好,能耐熔融的碱金属的碳酸盐。因而常用于沉淀灼烧称重、氢氟酸溶样以及碳酸盐的熔融处理。铂坩埚适用于灼烧沉淀。铂制小舟、铂丝圈用于有机分析灼样品。铂丝、铂片常用于电化学分析中...

说到显示技术,大家最熟悉的可能还是LCD和LED液晶显示屏,但若您现在再去商城采购,会发现OLED(有机发光二极管)显示技术已经成为了新的主流。OLED技术是指有机半导体材料和发光材料在电场驱动下,通过载流子注入和复合导致发光的现象。作为一种固态自发光技术,OLED不需要以前用LCD搭配LED背光源的组合,因此可以将电视厚度做得很薄,可视角度更广、功耗更低、色彩也更丰富,并且可以在塑料、树脂...

用粘附性判定标准值判断薄膜粘附性好坏的一种方法与流程本发明属于超声表面波无损检测领域,涉及一种薄膜粘附性好坏的判定方法。背景技术:薄膜科学在微电子领域有着重要的应用。Low-k互连是高速超大规模集成(ULSI)电路发展中的一个重要理念,由于其可以减少互连延迟,串扰以及电路的能量损耗。在low-k薄膜的各项特性中,界面粘附性是一个非常重要的特性,它显著地影响了互连系统的稳定性和可靠性。在薄膜的...

‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍华为、小米、vivo、三星等手机品牌高端旗舰机型背后的炫彩渐变背壳镀膜,每三个产品就有一个出自河南镀邦光电。   一个经过功能镀膜的手机壳,从不同角度观看,呈现出完全不同的颜色,既不是单色,也不是渐变色,而是“无穷变色”。更神奇的是,在部分机...

‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍‍3月30日,世界经济论坛正式对外公布最新一批“灯塔工厂”名单,BOE(京东方)从全球众多企业中脱颖而出,荣膺全球智能制造领域最高荣誉“灯塔工厂”,成为中国大陆第一家也是唯一一家入选的显示企业,成功打造全球数智融合新典范,这也是京东方在智能制造领域的首张世界名片。灯塔工厂由世界经济论坛与麦肯锡咨询公司共同发起,在全球范围内甄选第四次工业革命先进技术应用的领军企业,...

(一) 铂坩埚1、铂是一种贵重金属,焙点约为1770度,质软,使用时不要用手捏,以防变形。也不能用玻璃棒捣刮铂坩埚内壁,以防损伤。也不要将红热的铂坩埚放人冷水中骤冷。2、铂坩埚的加热和灼烧,均应在垫有石棉板或陶瓷板的电炉或电热板上进行,或在煤气灯的氧化焰上进行,不能与电炉丝、铁板及还原焰接触,因为在高温下铁易与铂形成合金,还原性气体能与铂形成碳化铂,使铂坩埚变脆。滤纸如在铂坩埚中灼烷,应在低...

一、 天平的称量方法1、 直接称量法:对一些在空气中无吸湿性的试样或试剂如金属或合金等,可用直接法称量。称量时将表面皿或其他称量容器放于秤盘中央,去皮,然后将试样置于称量容器中,即得到试样的质量。2、 固定质量称量法:分析实验中为准确称取某一指定质量的试样,可用固定质量法称量。称量时将表面皿或其他称量容器放于秤盘中央,去皮,然后用药勺盛试样(试样一般要预先研细),在容器上方轻轻振动,使试样徐...

热蒸发 (TE) 作为一种可扩展且低成本的有机空穴传输材料 (HTM) 制造技术,在钙钛矿太阳能电池 (PSC) 的应用中通常会产生低光伏性能和较差的器件再现性,因此显然需要了解 TE 的弱点。厦门大学杨丽和张金宝等人报道了一种通用的制造技术,溶剂退火辅助热蒸发 (SATE),能够有效调节Spiro-OMeTAD 有机薄膜的形态和光电特性。 SATE方法生产的未掺杂Spiro-OMeTAD ...

甲脒三碘化铅基钙钛矿太阳能电池已成为未来可用于开发光伏技术的最有希望的候选者之一。钙钛矿太阳能电池组件 (PSCM) 的商业用途受到限制,因为制造高质量、高效和稳定的大面积钙钛矿吸光薄膜具有挑战性。成均馆大学Gill Sang Han和Hyun Suk Jung等人采用十七氟辛烷磺酸四乙基铵盐(HFSTT),含有氟化长烷基链作为疏水尾和磺酸基(SO3-)作为亲水头,改善了大面积薄膜均匀制造、...

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