TCO透明导电氧化物镀膜玻璃应用、分类及主要镀膜材料

一、定义

TCO（Transparent Conducting Oxide）玻璃，即透明导电氧化物镀膜玻璃，是在平板玻璃表面通过物理或者化学镀膜的方法均匀镀上一层透明的导电氧化物薄膜而成。主要包括In、Sn、Zn和Cd的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料。

二、应用

TCO玻璃应用于薄膜太阳能电池透明电极、平面液晶显示、电致发光显示、电致彩色显示、建筑用节能玻璃、车用电致发热玻璃窗等。

对于薄膜太阳能电池来说，由于中间半导体层几乎没有横向导电性能，因此必须使用TCO玻璃有效收集电池的电流，同时TCO薄膜具有高透和减反射的功能让大部分光进入吸收层。目前薄膜太阳能电池所用的TCO玻璃主要是用化学气相沉积法（CVD)生产的掺氟氧化锡（FTO）TCO玻璃。

三、种类

透明导电氧化物的镀膜原料和工艺很多，通过科学研究进行不断的筛选，目前主要有以下三种TCO玻璃与光伏电池的性能要求相匹配。

1、ITO镀膜玻璃是一种非常成熟的产品，具有透过率高，膜层牢固，导电性好等特点，初期曾应用于光伏电池的前电极。

但随着光吸收性能要求的提高，TCO玻璃由于无法具备提高光散射能力和较差的激光刻蚀性能、在等离子体中不够稳定、价格高等原因，目前ITO镀膜已非光伏电池主流的电极玻璃。

2、SnO2镀膜也简称FTO，目前主要是用于生产建筑用Low-E玻璃。其导电性能比ITO略差，但具有成本相对较低，激光刻蚀容易，光学性能适宜等优点。通过对普通Low-E的生产技术进行升级改进，制造出了导电性比普通Low-E好，并且带有雾度的产品。利用这一技术生产的TCO玻璃已经成为薄膜光伏电池的主流产品。

3、氧化锌基薄膜的研究进展迅速，材料性能已可与ITO相比拟，结构为六方纤锌矿型。其中铝掺杂的氧化锌薄膜研究较为广泛，它的突出优势是原料易得，制造成本低廉，无毒，易于实现掺杂，且在等离子体中稳定性好。预计会很快成为新型的光伏TCO产品。目前主要存在的问题是工业化大面积镀膜时的技术问题。

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主要产品如下：

IGZO 靶材 99.99%；                    IZO 靶材 99.99%；

SnO2 靶材 99.99%；                   ZnO 靶材 99.99%；

ITO 靶材 99.99%（90:10wt%）；       AZO 靶材 99.99%（98:2 wt%）；

ZnO掺杂MgO 靶材99.99%；         ZnO掺杂TiO2 靶材 99.99%；

靶材尺寸可根据需要的直径和厚度定做。

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